電子材料加工油剤
ラッピングオイル
水溶性ラッピング油剤 LAP-P-51
有機塩系の水溶性ラッピング油剤です。特に砥粒の分散性、防錆性に優れた製品です。
■使用方法
●3~10%に希釈して御使用下さい。
●P-51Aを併用して頂くとさらにラップ効率が向上致します。
※ラップ後ウェハーを1分以内にラップ盤より取り除く事が、望ましくこれは、条件により多少異なりますが、シミの発生を防止致します。
※作業終了後は、LAP-P-51の原液~10倍希釈液でラップ盤を洗浄して下さい。錆を防止します。
■防錆試験
| 倍率 | 1h | 3h | 5h | 7h | 24h |
|---|---|---|---|---|---|
| ×10 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| ×20 | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ | ◎ |
| ×30 | ◎ | ◎ | ◎ | ○ | ○ |
| テスト | シャーレーにドライカットした鋳鉄切屑(FC-25)を入れ、希釈液で洗浄後、液を除去し、24時間室温にて静置し、発錆状態を観察する。 | |||
|---|---|---|---|---|
| ◎ 発錆なし | ○ 数点発錆 | △ 十数点発錆 | × 1/3以上発錆 | |
■代表性状
| 密度 15℃ g/cm3 |
pH | 表面張力 10-3N/m |
外観 |
|---|---|---|---|
| 原液 | ×30 | ×30 | 原液 |
| 1.11 | 9.6 | 40 | 無色-淡黄色 |

